ГВГ на границе раздела полупроводник–электролит и исследование поверхности кремния методом нелинейного электроотражения

Развита феноменологическая теория нелинейного электроотражения (НЭО), т. е. изменения интенсивности отраженной второй гармоники (ВГ) при наложении электростатического поля. Получено выражение для коэффициента НЭО, и в случае невырожденного в области пространственного заряда полупроводника проанализирована его зависимость от таких параметров отражающей поверхности, как толщина окисного слоя, плотность и энергия поверхностных состояний, степень легирования и т. д. Для невырожденного кремния проведен численный эксперимент и исследована трансформация вида кривой НЭО при варьировании параметров поверхности. Экспериментально исследована связь интенсивности ВГ с зарядом поверхности и толщиной поверхностного окисла. Получено хорошее согласие экспериментальных и расчетных результатов.