Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий

Измерялись скорости травления пленок α-С:Н излучением эксимерного лазера в воздухе и вакууме. Установлено, что два механизма абляции – химический и физический – доминируют в различных диапазонах плотности энергии. Рассматриваются процессы, влияющие на возникновение химического травления и ограничивающие его скорость. Проведено сравнение энергозатрат на обработку пленок α-С:Н непрерывным и импульсно-периодическим лазерным излучением.