RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1984, том 11, номер 1, страницы 181–183 (Mi qe4654)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Краткие сообщения

Направленная кристаллизация при лазерном отжиге пленок

Ю. А. Битюрин, С. В. Гапонов, А. А. Гудков, В. Л. Миронов

Институт прикладной физики АН СССР, Горький

Аннотация: Экспериментально исследована лазерная рекристаллизация полупроводниковых пленок на аморфных подложках. С помощью полупрозрачных масок на поверхности образца создавалось неоднородное распределение температуры определенной симметрии, которое стимулировало ориентированный рост. Этим методом удалось получить ориентированные пленки PbTe и Ge ориентации (100) и (111). Обсуждается возможный механизм образования ориентированных пленок на неориентирующих подложках.

УДК: 621.373.826

PACS: 61.80.Ba, 61.72.Cc, 61.82.Fk, 68.55.Jk

Поступила в редакцию: 04.05.1983


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1984, 14:1, 121–123

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024