Аннотация:
Исследована пространственная когерентность излучения эксимерных лазеров в различных геометриях резонатора. Получена генерация с шириной спектра 5 пм в схеме с решеткой в автоколлимационном режиме и четырехпризменным телескопом. Обсуждаются вопросы, связанные с использованием эксимерных лазеров
с узкой линией генерации в проекционных фотолитографических системах.
Полный текст:
PDF файл (935 kB)