Высокоэффективный эксимерный KrF-лазер с электронно-пучковым возбуждением

Определены условия получения высокоэффективной генерации в электронно-пучковом KrF-лазере. Показано, что наличие примесей Хе и O₂ в газовой смеси не должно превышать 0,01 %. Найдено эмпирическое выражение для определения оптимального состава рабочей газовой смеси. С активного объема 0,45 л получена энергия генерации 14,1 Дж с КПД = 9 % (по энергии, вложенной в активную область) при давлении смеси З атм. и длительности импульса ~80 нс. Определены коэффициенты усиления и поглощения активной среды (0,15 и 0,014 см^–1 соответственно) при удельной мощности возбуждения 1,25 МВт/(см³·атм).