Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
Аннотация:
Приводятся результаты первых экспериментов по лазерной микрообработке объектов усиленным световым пучком заданной конфигурации при одновременном визуальном контроле процесса обработки на экране. Достигнут минимальный размер реза 2 мкм при обработке металлических пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку. Максимальная плотность мощности в пятне фокусировки могла достигать 0,1 ГВт/см2 для средней и 1 ТВт/см2 для пиковой мощности. Измерения контраста усиленного изображения показали, что даже в условиях значительного насыщения контраст изображения меняется незначительно в широком диапазоне изменения мощности обрабатывающего пучка и остается близким к контрасту усиленного изображения в отсутствие обрабатывающего пучка.