RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1984, том 11, номер 2, страницы 418–421 (Mi qe4879)

Эта публикация цитируется в 13 статьях

Краткие сообщения

Лазерная обработка объектов с одновременным визуальным контролем в системе генератор – усилитель на парах меди

К. И. Земсков, М. А. Казарян, В. М. Матвеев, Г. Г. Петраш, М. П. Самсонова, А. С. Скрипниченко

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва

Аннотация: Приводятся результаты первых экспериментов по лазерной микрообработке объектов усиленным световым пучком заданной конфигурации при одновременном визуальном контроле процесса обработки на экране. Достигнут минимальный размер реза 2 мкм при обработке металлических пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку. Максимальная плотность мощности в пятне фокусировки могла достигать 0,1 ГВт/см2 для средней и 1 ТВт/см2 для пиковой мощности. Измерения контраста усиленного изображения показали, что даже в условиях значительного насыщения контраст изображения меняется незначительно в широком диапазоне изменения мощности обрабатывающего пучка и остается близким к контрасту усиленного изображения в отсутствие обрабатывающего пучка.

УДК: 621.373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 42.60.Jf, 42.62.Cf, 42.79.Bh, 42.30.Va

Поступила в редакцию: 08.08.1983


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1984, 14:2, 288–290

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024