О разрешающей способности лазерной литографии на тонких металлических пленках

Теоретически рассмотрена разрешающая способность лазерной термолитографии при разрушающем и неразрушающем воздействии. Показано, что при неразрушающем воздействии максимальная разрешающая способность лазерной литографии соответствует разрешающей способности используемой оптической системы, а при разрушающем воздействии она определяется свойствами материала пленки и подложки, толщиной пленки и режимом облучения. Определены условия, при которых разрешающая способность лазерной термолитографии максимальна.