Об увеличении частоты следования импульсов ХеСl-лазера до 1 кГц

Исследуются возможности увеличения частоты следования импульсов XeCl-лазера при изменении скорости продува, уровня и однородности предыонизации и состава газовой смеси. Обнаружено резкое влияние концентрации ксенона на однородность разряда в импульсно-периодическом режиме и, соответственно, предельную частоту следования лазерных импульсов. Полученные экспериментальные зависимости объясняются на основе критерия, учитывающего процессы ступенчатой ионизации и влияние неоднородностей плотности газа, возникающих в импульсно-периодическом режиме работы эксимерного лазера, на предельный энерговклад в разряд.