RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1984, том 11, номер 5, страницы 994–998 (Mi qe5103)

Эта публикация цитируется в 14 статьях

Исследование оптических волноводов, полученных диффузией титана в LiTaO3

В. В. Атучин, К. К. Зилинг, Д. П. Шипилова

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск

Аннотация: Исследованы оптические характеристики волноводных слоев, полученных диффузией титана в LiTaO3, установлена количественная зависимость изменения показателей преломления от концентрации легирующего элемента, определены параметры диффузии Ti в Y- и Z-срезы кристаллов в температурном интервале 1165–1310 °C. Результаты работы дают необходимую совокупность данных, требующихся для контролируемого получения указанных структур.

УДК: 621.372:621.315.61

PACS: 42.82.Et, 42.82.Cr, 78.20.Ci

Поступила в редакцию: 06.07.1983


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1984, 14:5, 671–674

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024