Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск
Аннотация:
Исследованы оптические характеристики волноводных слоев, полученных диффузией титана в LiTaO3, установлена количественная зависимость изменения показателей преломления от концентрации легирующего элемента, определены параметры диффузии Ti в Y- и Z-срезы кристаллов в температурном интервале 1165–1310 °C. Результаты работы дают необходимую совокупность данных, требующихся для контролируемого получения указанных структур.