Исследование возможностей многолучевой интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС

Рассмотрены методы применения многолучевой, интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС и проведена оценка их возможностей. Устранение влияния дифракции позволило получить при осциллографической регистрации погрешность измерения сдвига полос ΔN = ±1/300 полосы. Такая погрешность позволяет фиксировать различие в толщине стенки мишени с точностью Δd = ±2 нм, что при толщине стенки d~1 мкм соответствует Δd/d = ±0,2%. При измерении давления газа в мишени погрешность измерения сдвига полос в 1/300 полосы дает ошибку в определении давления газа, равную Δp = ± 0,1 атм для мишеней диаметром ~150 мкм.