В. П. Тычинский, А. В. Тавров, “Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм”, Квантовая электроника, 17:3 (1990), 264

Эта публикация цитируется в 1 статье

Письма в редакцию

Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм

В. П. Тычинский, А. В. Тавров

Московский институт радиотехники, электроники и автоматики

Аннотация: Показано, что в фазовом изображении объекта может быть реализовано сверхрелеевское пространственное разрешение. Измерения на компьютерном фазовом микроскопе подтвердили возможность определения координаты резкого изменения высоты профиля полупроводниковой структуры с точностью выше 10 нм.

УДК: 681.723:621.373.826

PACS: 07.60.Pb, 42.62.-b, 42.30.-d, 07.05.-t

Поступила в редакцию: 27.10.1989