Использование внутрирезонаторного пространственного фильтра для уменьшения расходимости излучения эксимерных лазеров

Исследовано влияние внутрирезонаторного пространственного фильтра на характеристики излучения эксимерного лазера. Получены эффективное уменьшение расходимости излучения и сужение спектра линии генерации электроразрядного XeCl-лазера с помощью фильтра в комбинации с дифракционной решеткой.