Лазерно-стимулированное травление сапфира излучением лазера на парах меди

Экспериментально исследовано лазерно-стимулированное травление сапфира излучением лазера на парах меди (λ = 510 нм, длительность импульса 10 нс, частота следования 8 кГц). Травление сапфира происходит при облучении сфокусированным лазерным лучом поверхности раздела сапфир – поглощающая жидкость. Обнаружена автомодуляция глубины каналов при травлении сканирующим лазерным лучом. Исследована динамика формирования каналов травления и причины автомодуляции. Скорость травления сапфира достигает 2 мм/с (0.3 мкм/имп.), пространственное разрешение предложенного метода травления около 3 мкм. Обнаружено, что на протравленной поверхности сапфира восстанавливается Cu из раствора для химического меднения, образуя медное покрытие, имеющее хорошую адгезию к поверхности сапфира (18 Н/мм²).