В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков, “Импульсное лазерное напыление тонких пленок InxGa1–xAs”, Квантовая электроника, 23:1 (1996), 73

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Импульсное лазерное напыление тонких пленок In_xGa_1–xAs

В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков

Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН, г. Троицк

Аннотация: Исследовано скоростное распределение капель и атомной составляющей плазменного факела, возникающего при лазерной абляции полупроводниковых мишеней из InAs и GaAs. Показано, что скорость атомов по крайней мере в 6 раз выше скорости капель. Предложен механический фильтр скоростей для удаления капель из плазменного факела. Показано, что при использовании составной мишени возможно получение эпитаксиальных пленок In_xGa_1–xAs различного состава.

PACS: 68.55.Bd, 68.55.Nq, 42.62.Cf

Поступила в редакцию: 01.01.1996