Формирование отображения микроступенчатого профиля в гетеродинном дифференциально-фазовом микроскопе

Представлена теория формирования отображения микрообъектов произвольной формы в лазерном гетеродинном дифференциально-фазовом микроскопе. На основе этой теории разработан метод измерения со сверхразрешением параметров микрообъектов типа ступеньки. Экспериментально показана возможность использования этого метода для анализа глубоких (h > λ/8) амплитудно-фазовых ступенек с размытием не менее 0.1 мкм.