В. Н. Анисимов, В. П. Козолупенко, А. Ю. Себрант, “Формирование поверхностных периодических структур на пленочных покрытиях”, Квантовая электроника, 13:6 (1986), 1289

Краткие сообщения

Формирование поверхностных периодических структур на пленочных покрытиях

В. Н. Анисимов, В. П. Козолупенко, А. Ю. Себрант

Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова, Москва

Аннотация: Предложен модельный эксперимент для исследования поверхностных периодических структур (ППС), в котором запись структур осуществляется на тонкой (менее 0,5 мкм) пленке нитроцеллюлозы, покрывающей медное зеркало. Измерено угловое распределение излучения, рассеянного на «вырожденной» решетке. Рассчитанный профиль рельефа с хорошей точностью совпал с измеренным экспериментально.

УДК: 621.372.8.029.7

PACS: 61.80.Ba, 61.82.Pv, 42.79.Bh, 42.79.Dj, 42.79.Wc

Поступила в редакцию: 16.10.1985