М. Р. Брук, Ф. В. Бункин, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев, “Кинетика лазерно-стимулированного травления CdxHg1 – xTe”, Квантовая электроника, 17:7 (1990), 931

Эта публикация цитируется в 1 статье

Применение лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Кинетика лазерно-стимулированного травления Cd_xHg_1 – xTe

М. Р. Брук, Ф. В. Бункин, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев

Институт общей физики АН СССР, Москва

Аннотация: Экспериментально исследовано лазерно-стимулированное травление полупроводника A^IIB^VI в жидких Br₂-содержащих травителях. Получены канавки прямоугольного профиля в Cd_xHg_1 – xTe при скоростях сканирования до 1 см/с с пространственным разрешением ~5 мкм на глубину ~20 мкм. Показано, что кинетика травления определяется развитием термодиффузионной неустойчивости в слое травителя.

УДК: 620.179.111.5:621.373.826

PACS: 79.20.Ds, 81.65.Cf, 66.10.Cb

Поступила в редакцию: 05.04.1989