Лазерный проекционный микроскоп с темным полем

Приведены результаты экспериментального исследования лазерного проекционного микроскопа с темным полем. Изучены поверхности различных объектов–лазерного зеркала, поверхностной решетчатой структуры, участка лазерной микрообработки в пленочной структуре и другие. В дифракционном изображении объектов хорошо разрешены микродефекты как самих подложек, так и структур на поверхности.