Ф. В. Бункин, К. И. Грандберг, Б. С. Лукьянчук, Э. Г. Перевалова, Г. А. Шафеев, “Лазерное осаждение металла из трифенилфосфиновых комплексов одновалентного золота”, Квантовая электроника, 13:7 (1986), 1321

Эта публикация цитируется в 1 статье

Письма в редакцию

Лазерное осаждение металла из трифенилфосфиновых комплексов одновалентного золота

Ф. В. Бункин, К. И. Грандберг, Б. С. Лукьянчук, Э. Г. Перевалова, Г. А. Шафеев

Институт общей физики АН СССР, Москва

Аннотация: Экспериментально реализовано лазерное осаждение Au из трифенилфосфиновых комплексов Au (I) типа RAuL на ряд полупроводниковых и диэлектрических подложек. В схеме лазерного проекционного микроскопа получен металлический осадок с поперечными размерами ~1 мкм.

УДК: 62L373.826:621.793.3

PACS: 81.15.Fg, 85.40.Ls

Поступила в редакцию: 18.03.1986