RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив
Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 9, страницы 1235–1236 (Mi qe7427)
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Оптическая система для лазерной пантографии

А. М. Бакиев, С. Х. Валиев

Отдел теплофизики АН УзССР

Аннотация: Приведены оптическая схема установки для лазерной пантографии и результаты обработки поверхности полупроводниковых пластин. Ширина микроканавок, полученных за счет термической обработки, достигает 2 мкм.

УДК: 621.378.325

PACS: 42.62.-b, 81.65.-b

Поступила в редакцию: 02.08.1989


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, 20:9, 1145–1146

Реферативные базы данных:

© МИАН, 2024