З. Э. Буачидзе, И. В. Василищева, В. Н. Морозов, В. А. Плетнев, А. С. Семенов, П. В. Шапкин, “Создание и исследование интегрально-оптических волноводов на основе CdSxSe1–x ”, Квантовая электроника, 12:9 (1985), 1814

Создание и исследование интегрально-оптических волноводов на основе CdS_xSe_1–x

З. Э. Буачидзе, И. В. Василищева, В. Н. Морозов, В. А. Плетнев, А. С. Семенов, П. В. Шапкин

Физический институт им. П. Н. Лебедева, Москва

Аннотация: Диффузией селена в CdS получены планарные и полосковые волноводы с потерями 3–5 дБ/см на длине волны 0,63 мкм. Исследовано влияние режимов диффузии на основные волноводные характеристики. Разработана математическая модель, позволяющая получать распределение показателя преломления по глубине кристалла для различных режимов диффузии. На единой подложке созданы волноводы, материал которых имел ширину запрещенной зоны 2,41 и 2,47 эВ. Эффективность связи волноводов превысила 90 %.

УДК: 621.372.8.029.7

PACS: 42.82.Et, 42.79.Gn, 42.82.Cr, 42.70.Nq

Поступила в редакцию: 04.04.1985