Многоканальный интегрально-оптический модулятор на полосковых волноводах на основе GaAs–GaAs1-xPx

Приведены результаты разработки и исследования оптической интегральной схемы многоканального электрооптического модулятора, выполненного на полосковых нагруженных оптических волноводах (ОВ), сформированных на базовой многослойной эпитаксиальной волноводной структуре на основе GaAs–GaAs_1-xP_x. Проведена оптимизация параметров модулятора и полосковых ОВ, найдено полуволновое напряжение для каждого канала модулятора (~24 В), которое достаточно хорошо согласуется с расчетным значением.