В. К. Беляев, К. С. Гочелашвили, В. П. Дегтярева, Р. М. Закиров, В. И. Климов, В. Т. Михкельсоо, A. М. Прохоров, В. К. Чевокин, “Исследование пространственно-временной картины генерации излучения ArF-лазера”, Квантовая электроника, 16:2 (1989), 183

Эта публикация цитируется в 1 статье

Лазеры

Исследование пространственно-временной картины генерации излучения ArF-лазера

В. К. Беляев, К. С. Гочелашвили, В. П. Дегтярева, Р. М. Закиров, В. И. Климов, В. Т. Михкельсоо, A. М. Прохоров, В. К. Чевокин

Институт общей физики АН СССР, Москва

Аннотация: Экспериментально исследована эволюция пространственно-временной картины генерации излучения импульсно-периодического электроразрядного АгF-лазера (λ = 193 нм) по мере наработки рабочей смеси. Для регистрации ВУФ излучения использована электронно-оптическая камера «Сапфир» с пикосекундным разрешением. В рамках модели, описывающей динамику разряда в ArF-лазере, проанализировано влияние уменьшения концентрации молекулярного фтора в рабочей смеси на неустойчивости, приводящие к срыву генерации.

УДК: 621.373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 42.60.By, 42.60.Jf, 42.60.Lh

Поступила в редакцию: 02.10.1987