Теория лазерно-индуцированной генерации периодического рельефа поверхности при фотохимическом травлении полупроводников

Развита строгая аналитическая теория лазерной генерации периодического поверхностного рельефа при фотохимическом травлении полупроводников в условиях незначительного нагрева поверхности, а также при пиролитических реакциях травления поверхности и осаждения пленок, поглощающих лазерное излучение. Вычислены инкременты экспоненциального во времени нарастания доминирующих структур, их периоды и ориентации в зависимости от интенсивности, угла падения, поляризации падающего излучения и параметров обрабатываемой поверхности. Теоретические результаты хорошо согласуются со всей совокупностью экспериментальных данных.