Исследование волноводов, полученных диффузией титана на $Y$-cpeзe метаниобата лития
В. Г. Панькин, С. Н. Петухова, В. Ю. Пчелкин, В. В. Шашкин, Н. Л. Шварц
Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск
Аннотация:
Получены и исследованы волноводы при диффузии титана в аргоне, азоте, воздухе и вакууме. Найдено, что волноводы, полученные при диффузии в аргоне и вакууме, обладают наименьшими потерями ($\lesssim$ 2 дБ/см). Наибольшие изменения показателя преломления на поверхности наблюдаются при диффузии в вакууме. Показано, что пропорциональность между концентрациями примеси и изменением необыкновенного и обыкновенного показателей преломления не выполняется. Установлено, что величины электрооптических коэффициентов совпадают с объемными значениями.