Температурные напряжения в структуре «пленка – подложка» при лазерном импульсном нагревании

Исследовано напряженное состояние, возникающее в системе «пленка – подложка» при импульсном лазерном воздействии. Согласно предложенной физической модели изменение вязкости диэлектрической подложки в течение импульса приводит к деформации поверхностного слоя подложки при остывании, что вызывает возникновение механических напряжений в пленке. Проведен эксперимент по воздействию лазерного излучения в допороговых режимах (меньше порога испарения) на хромовые пленки, нанесенные на диэлектрические подложки. Исследуется плотность трещин в зависимости от плотности светового потока, длительности лазерного импульса, а также от типа материала подложки. Сформулированы условия облучения, при которых растрескивания пленки не происходит.