Аннотация:
Предложен метод скрайбирования и разделения прозрачных материалов за счет лазерной термокавитации жидкости, находящейся в контакте с обрабатываемым материалом. Применение аргонового лазера для разделения стекла позволило достигнуть точности разреза 10 мкм.