Исследование процессов разрушения диэлектрических пленок под действием лазерного излучения

Исследованы процессы разрушения пленок SiO₂, TiO₂, SiO_x, TiO_x, (x<2) и поверхности кристаллов рутила в зависимости от длины волны излучения, условий фокусировки, температуры экспериментальных образцов. Обсуждаются возможные механизмы разрушения пленок.