А. С. Свахин, В. А. Сычугов, Г. П. Шипуло, “Исследование процесса формирования дифракционных решеток на поверхности оптических волноводов”, Квантовая электроника, 6:5 (1979), 1095

Краткие сообщения

Исследование процесса формирования дифракционных решеток на поверхности оптических волноводов

А. С. Свахин, В. А. Сычугов, Г. П. Шипуло

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва

Аннотация: Изучен процесс формирования решеток на стекле с помощью ионного травления через фоторезистивную маску. В качестве рабочего газа использовался фреон CF₄. Показано, что для получения решетки с заданным профилем штриха необходимо тщательно контролировать форму маски.

УДК: 621.372.8.09

PACS: 42.80.Fn, 42.80.Lt

Поступила в редакцию: 29.11.1978