Динамика лазерного осаждения металлов из газовой фазы на диэлектрики

Теоретически исследована динамика осаждения металлов из газовой фазы на поверхность диэлектрика под действием непрерывного лазерного излучения. Учтены изменения формы поверхности в ходе процесса и температурная зависимость коэффициента теплопроводности газовой среды. Показано, что на начальной стадии осадок может иметь грибообразную форму, а на поздней стадии он оказывается стержневидным. Если процесс проводится с помощью движущегося пучка излучения, осадок может приобретать вид серии стержней, наклоненных к поверхности подложки.