Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Аннотация:
Описан растровый оптический микроскоп, выполненный на базе электронно-зондового прибора «Камебакс». Сканирование лазерного луча осуществляется отклонением электронного зонда. Источником излучения служит лазерный элемент с монокристаллом сульфида кадмия. Прибор позволяет получать изображения в отраженном, прошедшем или рассеянном свете в широком диапазоне разверток, включая телевизионные. Разрешающая способность оценивается в 1 мкм; диапазон увеличений 100–1000 перекрывается без смены объектива. Возможен режим наведенного тока.