Аннотация:
Численно решено кинетическое уравнение для функции распределения электронов по энергиям в рабочих смесях электроионизационного CO2-лазера. При решении учитывалось 27 элементарных процессов столкновений электронов с нейтральными частицами. На основе расчетных функций распределения исследовался баланс энергии в разряде. Получены зависимости эффективностей возбуждения различных уровней молекул от параметра E/p и парциального состава смеси N2+CO2+He (E – напряженность электрического поля, p – давление газа). Вычислены скорость дрейфа электронов в электрическом поле, скорости прилипания и ионизации легкоионизуемых примесей. Результаты представлены в виде графиков.