Когерентность излучения ХеО-лазера

На основе интерферометра Майкельсона создана экспериментальная установка для измерения продольных и поперечных корреляционных функций поля лазерного излучения. Исследована когерентность излучения эксимерного XeCl-лазера. Измерены длина, радиус и коэффициенты когерентности. Обнаружено, что радиусы когерентности различны для разных направлений по апертуре лазерного пучка. Обсуждается роль когерентности излучения при использовании эксимерных лазеров в системах проекционной фотолитографии.