Эффективность эксимерных лазеров на молекулах галогенидов благородных газов, возбуждаемых электронным пучком

Путем решения уравнений кинетики процессов в плазме эксимерных лазеров на молекулах галогенидов благородных газов получены формулы, позволяющие оценивать эффективность таких лазеров, возбуждаемых электронным пучком. Численное моделирование процессов в эксимерных лазерах показало, что полученные формулы могут быть использованы для расчета эффективности при давлении газа от 1 до 10 атм. Приведены результаты расчетов предельных КПД лазеров на молекулах KrF*, ХеСl*и ХеВг*.