Разрушение поверхности кремния и меди при импульсном и импульсно-периодическом воздействии YAG:Nd-лазера

Исследовано разрушение поверхности кремния и меди при импульсном и импульсно-периодическом воздействии YAG:Nd-лазера. Обнаружены аномалии в рассеянном от поверхности кремния пробном луче Ne — He-лазера при облучении ее последовательностью импульсов YAG:Nd-лазера с I < I_melt (где I_melt — порог плавления поверхности), которые предположительно связаны с формированием насыщенного дефектами поверхностного слоя.