Процессы усиления эффектов светового воздействия на полимерные слои

В статье обсуждаются процессы усиления первичных эффектов фотовоздействия в полимерных слоях, основанные на комплексообразовании, автокатализе, автосенсибилизации, кислотном катализе. Рассматриваются области практического использования этих процессов. Основное внимание уделяется высокочувствительным фоторезистам для фотолитографического процесса, используемого в высоких технологиях.
Библиография – 114 ссылок.