В. П. Толстой, “Синтез тонкослойных структур методом ионного наслаивания”, Усп. хим., 62:3 (1993), 260

Эта публикация цитируется в 39 статьях

Синтез тонкослойных структур методом ионного наслаивания

В. П. Толстой

Научно-исследовательский институт химии при Санкт-Петербургском государственном университете

Аннотация: Обзор посвящен ионному наслаиванию – одному из методов синтеза тонкослойных структур, позволяющему наиболее точно регулировать толщину и задавать состав наносимого на поверхность подложки слоя.
Библиография – 69 ссылок.

УДК: 548.0:612.315.592

Поступила в редакцию: 08.09.1992

DOI: 10.1070/RC1993v062n03ABEH000015