Нитрид кремния – синтез и свойства

Рассмотрены методы получения нитрида кремния и материалов на его основе в виде порошков и консолидированных из них материалов, а также в виде пленок и покрытий. Проанализирована и обсуждена информация о структуре и физико-химических свойствах нитридокремниевых материалов. Библиография - 172 ссылки.