Аннотация:
Рассмотрено современное состояние методов анализа и исследования молекулярного состояния примесной воды в высокочистых летучих неорганических веществах, применяемых в технологиях получения материалов для новой техники. Основное внимание уделено наиболее информативным спектроскопическим методам в ИК- и микроволновом диапазонах длин волн. Библиография - 182 ссылки.