Синтез и свойства пленок фаз внедрения

Описаны методы синтеза пленок фаз внедрения (карбидов, нитридов, боридов и гидридов переходных металлов). Сопоставлены и обсуждены разнообразные варианты их химического и физического осаждения из газовой фазы. Обобщена и проанализирована информация о структуре, электронном строении и физико-химических свойствах пленок (включая легированные и многослойные). Библиография - 225 ссылок.