Окисление кремния

Статья представляет собой обзор работ, посвященных окислению кремния в различных газовых средах. Особое внимание уделено механизму образования и кинетике роста окисных пленок на кремнии при высокотемпературном окислении. Обсуждены литературные данные о составе и структуре образующейся пленки продуктов реакции, о зависимости скорости окисления от давления окисляющей среды и о возможном участии ионов кремния в процессе роста окисной пленки.
Библиография – 120 наименований.