Кинетика и катализ реакций оксидирования титана, кремния, германия и арсенида галлия

Систематизированы результаты исследований кинетики и катализа реакций термического газового оксидирования титана, кремния, германия и GaAs. Дана оценка влияния различных факторов (природы газа-реагента, способа предварительной обработки поверхности, природы окисляемого вещества) на кинетику реакции. Обсуждены особенности катализа гетерогенных окислительных процессов. Намечены новые пути решения ряда практических задач.
Библиография – 133 ссылки.