Осаждение эпитаксиальных слоев из паров металлорганических соединений

Проведено сравнение разных методов осаждения эпитаксиальных слоев из паров металлорганических соединений. Рассмотрены вопросы устойчивости процессов осаждения и новые данные по получению эпислоев соединений A^IIIB^V, A^IIB^VI и A^IVB^VI.
Библиография – 206 ссылок.