Аннотация:
Систематизированы и обобщены опубликованные в последние 10–15 лет данные по химическим методам получения тонких оксидных сегнетоэлектрических пленок из металлоорганических соединений. Показано, что слои из таких пленок перспективны для создания элементов энергонезависимой памяти, а также для использования в устройствах нано- или микроэлектроники. Библиография — 318 ссылок.