Н. А. Кузнецова, Г. В. Малков, Б. Г. Грибов, “Фотохимические генераторы кислоты. Применение и современное состояние разработок”, Усп. хим., 2020, том 89, выпуск 2,страницы 173

Эта публикация цитируется в 49 статьях

Фотохимические генераторы кислоты. Применение и современное состояние разработок

Н. А. Кузнецова^a, Г. В. Малков^b, Б. Г. Грибов^c

^a Государственный научный центр "Научно-исследовательский институт органических полупродуктов и красителей", г. Москва
^b Институт проблем химической физики РАН, г. Черноголовка Московской обл.
^c Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, г. Москва, г. Зеленоград

Аннотация: Фотохимические генераторы кислоты входят в состав фотоотверждаемых полимерных композиций и фоторезистов с химическим усилением, применяемых в микроэлектронной промышленности. В последнее время такие соединения становятся важными компонентами разнообразных технологических материалов. В обзоре дана классификация фотогенераторов кислоты и обобщены сведения о фотохимических процессах, приводящих к образованию фотокислот. В отдельном разделе представлены примеры их практического использования и показано современное состояние разработок.
Библиография — 118 ссылок.

Поступила в редакцию: 16.05.2019

DOI: 10.1070/RCR4899