Активация твердофазных процессов излучением газоразрядных ламп

Проанализированы и обобщены результаты исследований по применению широкополосного излучения газоразрядных ламп для активации твердофазных процессов — диффузии, синтеза тонких пленок, нанокристаллизации аморфных структур, рекристаллизации, модификации структур и свойств тонких пленок, формируемых различными методами. Показано, что эффект от фотонной обработки по сравнению с традиционной термической обработкой проявляется в ускорении процессов синтеза, повышении дисперсности формируемой структуры, снижении температурных порогов фазообразования. Обсуждены возможные механизмы фотонной активации технологических процессов.
Библиография — 142 ссылки.