Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы

Рассмотрены химические и материаловедческие аспекты формирования тонких рутенийсодержащих пленок методами химического осаждения из газовой фазы, которые применяют в современных прецизионных технологиях. Проанализированы химические подходы к синтезу основных исходных соединений (предшественников), используемых в этих методах, процессы роста слоев и данные об основных физико-химических и электрических свойствах тонких рутенийсодержащих пленок.
Библиография — 120 ссылок.