Механизм термического разложения силанов

Рассмотрены и обобщены сведения о механизме термического разложения силанов. Выделены и охарактеризованы главные стадии этого процесса. Основное внимание уделено элементарным гомогенным реакциям, процессам осаждения кремния из газовой фазы и образования аэрозолей. Рассмотрены различные модели образования аэрозолей. Обсуждены результаты теоретических и экспериментальных исследований этого процесса. Приведены данные о химическом составе твердого продукта пиролиза силанов – осадка на стенках реактора и аэрозольных частицах. Отмечено, что содержание водорода в твердом продукте изменяется в широких пределах.
Библиография – 211 ссылок.