О функционировании СВЧ микроэлектромеханического резонатора

Рассматривается новая конструкция микроэлектромеханического резонатора c микрометровыми размерами, функционирующего на гигагерцовых частотах, ранее предложенная авторами. Статья содержит описание как технологических проблем реализации микроэлектромеханического резонатора, так и строгое обоснование его функционирования в рамках математической модели. При этом в аналитическом виде устанавливается связь между параметрами автоколебаний подвижного элемента прибора, возникающих под воздействием электростатического притяжения во время запуска, и параметрами собственных колебаний, в которые переходят автоколебания по окончанию запуска.