Численное исследование математических моделей микроэлектромеханических резонаторов разного типа

Приводятся результаты численного исследования математических моделей микроэлектромеханических резонаторов класса МЕМС (микроэлектромеханические системы). Математические модели приборов представлены формулировками начально-краевых задач, описывающих колебания подвижного электрода. Колебания возникают при запуске под воздействием напряженности электростатического поля между подвижным и неподвижным электродами в микрозазоре, а затем по окончании запуска переходят в собственные колебания. Численно определены условия возникновения колебаний подвижного электрода в виде связи параметров запуска и параметров собственных колебаний.